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Chimie et Matériaux
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Numérique et Robotique
Centrale de Micro-Nano Fabrication (CMNF)
Plateforme
Notre plateforme permet la fabrication de composants et systèmes avancés dans des domaines variés tels que les (bio)MEMS, la photonique, les composants de puissance, les dispositifs haute fréquence / haut débit, la micro-énergie ou l’acoustique. Elle est l’une des 5 grandes centrales académiques françaises. Notre expertise est reconnue au niveau national et international dans différents domaines tels que la lithographie électronique ou l’implantation ionique. Composée d’une vingtaine d’ingénieurs et techniciens qualifiés travaillant en étroite collaboration avec les chercheurs, notre équipe travaille sur les projets les plus ambitieux offerts par les micro et nanotechnologies. Nous sommes structurés autour de grands domaines de compétences : Croissances et dépôts de couches minces, Lithographie, Gravure, Implantation ionique, Caractérisation de procédés, Assemblage-Prototypage, ou encore BioMicrofluidique. En tant que membre du réseau RENATECH (réseau national des grandes centrales en micro-nanofabrication), nous pouvons accueillir toute demande de réalisation de briques technologiques ou de réalisation de dispositifs complets provenant d’entreprises ou d’instituts extérieurs.
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Christophe Lethien
Direction adjointe -
Bertrand Grimbert
Responsable technique
Avenue Henri Poincaré
Campus Cité scientifique
59650 VILLENEUVE D'ASCQ
https://www.iemn.fr/plates-formes/cmnf
Chiffres clés
• 150 utilisateurs/an• 550 visites/an
• 220 projets sont traités, dont 34% industriels
• 108 partenaires académiques
• 48 partenaires industriels
Effectif
Effectif total : 18
Compétences
• Dépôt de matériaux, structuration de ces matériaux par lithographie / gravure et analyse in line
• Dépôts de films minces en phase vapeur (métaux, oxydes, nitrures) par PVD et CVD (AP CVD, LP CVD, PE CVD).
• Dépôts par couches atomiques par ALD thermique et plasma
• Biomicrofluidique
• Soft lithographie
• Lithographie optique et électronique
• Gravure chimique / gravure physique par plasma / implantation ionique
• Croissance épitaxiale par jets moléculaire
• Structuration laser
Exemple(s) de projets
• Composants d'émission et de réceptions photoniques
• Composants RF et THz
• Microsource d'énergie
• MEMS, BIOMEMS
Collaborations/Partenaires/Clients scientifiques
INSA Lyon, Institut de Chimie et des Matériaux Paris-Est (ICMPE), Institut de Minéralogie, de Physique des Matériaux et de Cosmochimie (IMPMC), Chimie des processus biologiques - Collège de France, Institut Jean Lamour, Institut de Physique Nucléaire de Lyon, Université Claude Bernard Lyon, Université du Littoral Côte d'Opale, Université Montpellier
Internationaux :
MIT (Etats-Unis)
Secteurs d'applications
- Réseaux / Télécom
- Biotechnologies
- Energie
- Industrie de la Défense
- Industrie aéronautique & spatiale
- Industrie automobile / Mobilité
- Electronique / Photonique
- Enseignement / Formation
- Matériaux (Métal, Verre, Céramique, Composite...)
- Recherche / Science
- Industrie ferroviaire
- Textile
Prestations de service
• Fabrication, caractérisation et utilisation de dispositifs biomimétiques (équipements microfluidiques...)
• Dépôt de matériaux (par évaporation, par pulvérisation, par couche atomique, dépôt thermique, dépôt de plasma à
basse température)
• Impression à jet d'encre
• Croissance de matériaux III-V (Ga, As, Sb, ...)
• Caractérisation des matériaux
• Structuration de matériaux par lithographie / gravure et analyse in line
• Lithographie optique
• Lithographie électronique
• Gravure chimique
• Gravure par plasma inductif
• Gravure ionique réactive
• Montage-Assemblage
• Prototypage et développement de démonstrateurs
Offres de formations
Prestations de conseil
Découvrez la liste détaillée des équipements : http://lims.iemn.fr/WebForms/Equipment/EquipmentList.aspx
Equipements
| Nom | Modèle | Marque |
|---|---|---|
| Fours LPCVD | ||
| Four croissance graphène | Jetfirst 100F/ | |
| Imprimante jet d'encre | ||
| Machine dépôts métalliques | ||
| Nanomasqueur | ||
| Système plasma TEPLA | ||
| Spectromètre | ||
| Polisseuse mécanochimique | ||
| Centre d’usinage numérique |
Établissements / Organismes de rattachement
Unité(s) de rattachement
Groupements/Réseaux/Fédérations
Pôle de compétitivité
Labellisations
Domaines d'activités stratégiques régionales
- Chimie et Matériaux
- Ingénierie des procédés industriels, procédés propres et performants
- Revêtements et traitements de surface
- Numérique et Robotique
- Electronique